在半导体制造工艺中,超纯水的品质直接关系到芯片良率与产品可靠性。近期,西安赢润环保科技集团有限公司(以下简称“赢润环保”)成功为上海凯鑫分离技术股份有限公司(以下简称“上海凯鑫”)提供定制化水质监测方案,旗下ERUN-SZ3-C5水质硅酸根在线分析仪与ERUN-SZ4-A-A5水质溶解氧在线分析仪已顺利投入半导体行业项目现场,为工艺用水全流程水质安全筑牢防线。
上海凯鑫分离技术股份有限公司长期专注于软化水、除盐水、超纯水等工艺用水系统解决方案,服务覆盖电子、生物医药、高端制造等多个对水质要求严苛的领域。本次项目落地半导体行业,正是其技术实力与行业口碑的直接体现——半导体生产中,哪怕微量杂质都可能导致晶圆缺陷,因此对水中硅酸根、溶解氧等指标的控制达到“ppb级”(十亿分之一)标准。
针对上海凯鑫在半导体项目中的核心需求,赢润环保推荐了两款明星产品组合:
半导体超纯水中,硅酸根是重点管控指标之一,过量硅会沉积在芯片表面影响性能。该仪器采用双光路光电检测结构,有效克服光源漂移,测量精度达±1%FS,分辨率0.01μg/L,完全覆盖半导体行业0-100μg/L的低浓度监测需求;搭配精密柱塞泵+无接触液路设计,不仅加药准确、重复性好,更将药剂消耗降至2L/45天,仅为传统设备的1/2,大幅降低运维成本。
溶解氧同样会影响半导体材料的电化学性能。该设备采用高稳定性荧光法传感器(IP68防护等级),测量范围0.00-20.00mg/L,精度±0.3mg/L,支持自动温度补偿;控制器配备LED液晶屏,可同屏显示溶解氧、温度及输出状态,通过RS485 Modbus RTU通讯轻松接入客户现有DCS系统,实现数据实时上传与远程监控。
两套设备投用后,在上海凯鑫负责的半导体超纯水系统中表现亮眼:
数据可靠:硅酸根分析仪连续监测除盐水、冷凝水等关键节点,有效识别微量硅波动,为客户工艺调整提供精准依据;
运维便捷:硅酸根仪的自动清洗技术减少了试剂结晶堵塞,溶解氧传感器仅需每3-6个月维护一次,显著降低人工干预频率;
兼容性强:两款设备均支持多种安装方式(开孔/挂墙/嵌入式),完美适配客户现场空间布局,4-20mA隔离输出与现有控制系统无缝对接。
赢润环保成立于2009年,2014年深耕环境监测仪器领域,集研发、生产、销售、服务于一体,产品广泛应用于石油、化工、半导体、电力等数十个行业,远销海外。我们始终以“客户需求”为核心,提供从方案设计到免费培训的全周期服务,让每一台设备都成为客户信赖的“水质管家”。